Kalrez? 半導體制程密封件
2019-09-28 13:01:58
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半導體制程密封件經業界實證的污染控制能力
純度對于高晶圓產量至關重要，Kalrez? 密封件所具備的設計特性可以減少微粒、排氣和萃取物的污染。
Semiconductor Proccessing Seals Table
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Kalrez? 半導體加工密封件已在半導體芯片的制造中得到了實地驗證。
這些密封件可用于廣泛的半導體工藝，有助于延長計劃維護間隔，降低長期個別單位成本。 根據多個生產客戶的評估，與競爭對手的氟橡膠相比，不論是靜態還是動態密封應用，Kalrez? 密封件都表現出更好的機械強度、更少的微粒生成并具有更長的密封壽命。
改善操作
Kalrez? 密封件可以在廣泛的晶圓生產操作中改善半導體生產流程，包括：
沉積
刻蝕
灰化/去光阻
熱制程
濕制程
Spansion 實現更好的性能
全球最大的閃存解決方案提供商 Spansion 采用杜邦的材料方案，實現更長的密封壽命和更少的微粒生成。 密封侵蝕會導致大量顆粒和泄露，而壓縮形變會使得多個工藝出現密封問題。 Kalrez? 9100 部件能夠大幅降低密封侵蝕，減少微粒生成并提供更好的彈性回復特性。 查看 Spansion 半導體 O 型圈案例研究
久經考驗的領先材料
IMEC 在隔離閥和上噴嘴位置測試 Kalrez? 9100 密封件與現有密封件時，9100 密封件在 5000 個周期之后未出現破損，并且沒有任何破損跡象。
這些結果促使 IMEC 在比利時的國際研究中心將目前使用的所有氟橡膠密封件都改為 Kalrez? 9100 密封件。 查看 IMEC 案例研究